Re: [新聞] 年底前關閉部分EUV省成本,台積電:不評

作者: yingjeou (英九)   2022-09-03 01:48:09
我也認為半導體廠目前不會斷電省成本,Fat大大是設備商角度
那我以User角度來看,關電問題
關電就是沒錢才關的,所以真的關電後:
1.關電後缺料就去拆PM3機台上的parts,反正主管能過的了這關最重要
2.管理問題,拆機件要不要補?何時補?怎麼補?
工程師拆了可能不講的,換了一個壞的,或零件、板子斷電後就掛了,找誰算?
3.有的parts就是要過電,要加熱的
例如真空機台的turbo pump、dry pump
不轉放著可能開電就轉不起來了
然後真空管路是要加熱的,製程中的廢棄生成物很多遇水氣是會有腐蝕性的
關電沒真空、不加熱,水氣多了就咬穿管路
要避免這樣的情況,關電前又要先洗乾淨管路
很多管路又要外包才拆的下來(高空作業,危險性太高)
不洗不安全,洗了扣一扣電費根本就沒省到
有沒有關大電省錢的公司?有我碰過,最後真的省到錢的沒幾個
說真的與其搞這種偏門省錢法,不如找找N2漏氣
換安裝節能設備,節能pump是都換完了沒啊?一台節能pump往往裝一年就回本了......
※ 引述《FatSucks (PRS 最高!)》之銘言:
: 身為一個設備商現職工程師...
: 半導體設備是不太可能上線之後關大電的!!甚至 EMO 按下去你就是得被懲處...
: 這個概念跟一般用電不太一樣,
: 就機台寧願開著放在那邊,就算不 RUN 貨 (Wafer) 也不願意關大電
: 關大電以後再開,很多東西要重新調整,甚至有些精密的元件可能這樣掛掉
: 舉例來說好了:
: 客戶有一次不知道衝三小去關大電,然後一顆 power supply 就掛掉了...
: 這下好了啊,依照目前現在的貨運的狀況,台灣沒有這顆 power supply 可以買,
: 要從海外買,你知道一顆從下 PO 到客戶手上, lead time 要多久嗎...
: 答案是要等到十二月...
: 好這是其一。
: 接著你順利地開起來了,因為機台中間有關大電,
: 一般機台裡面會有所謂的 FFU 或者你就想像是一個風扇一直在吹,
: 目的是為了穩定機台內的氣流,減少 particle 的亂跑
: 但是因為你關了大電,FFU 當然不會吹,這時候 particle 就亂飛了啊...
: 這只是其中一個影響,如果是有閥件的,
: 因為太久沒動,一動起來反而磨出一些 particle...
: 再舉例一個
: 客戶有一次年保,年保他給我關大電,也順利開了起來,
: 結果 particle monitor
: (簡單來講就是要測定一片 wafer 進去這個機台進行製程到出這個機台,總共會
: 有多少 particle 在上面的一個檢測)
: 你知道測了多久嗎? 測了整整三天... (Dummy run + 測)
: 你說機台開著 idle 耗電,因為沒貨要省電所以關電,
: 你先考慮一下上面兩個...這兩個花的時間成本絕對大於三小省電...
: 再來晶圓的第一步就是曝光,曝光精度如果跑掉 (不管你是位置跑掉/ 線寬不對...etc
)
: 你後面蝕刻、顯影...三小的技術再強都沒幹用,
: 而且因為晶圓是一層一層鋪上去的,如果你在後段 layer (最後面幾層) 精度跑掉
: 抱歉,整片 wafer 不能用,或者應該說整盒 (25片) 等報廢。
: 然後你就要感謝 ASML 的工程師, 24 HR 在那邊 trouble shooting...
: 好,那麼如果從最一開始關大電到整個開起來完全順利,
: 還有精度的測定 (這個就超多項目要做,不好意思,一個項目基本半天起跳,
: 而且重點是還不一定第一次就過),再來客戶這邊可能還要重新 Qualification
: (簡單來講剛剛有說 wafer 有很多層,假設一百層,有可能你要舖的每一層都要重新測

: 讓 QC 甚至客戶 那邊說:喔喔這樣可以,你才能機台重新上線喔...)
: 以上是我一個從事這行超過十年的廢物,盡可能的白話解釋了...
: 關大電省電這根本就是...我不想說但是實際上就真的是:『外行人講的話...』
: 不過也真的是這些外行人說的話,讓市場製造恐慌...才有便宜價可以撿啊...

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