※ 引述《lichuer (Z揪兒)》之銘言：
: ※ 引述《chinaeatshit (我愛台灣！中國吃屎！！)》之銘言：
: : 那個...我文組的啦
: : 我也很好奇EUV關機後要多久才能上線
: : 專業5F好像很忙
: : 大家也都很好奇
: : 能請changecash大大發一篇文詳細解說嗎
: : 也許下一屆名人堂你也有機會被提名
: 機台off過 啟動要調機 cw跑完 跑lot交替跑
: qc par scr purge有的沒的 看那台需要什麼就驗什麼
: 有時qc就要驗幾十種 不然就是particle跑了幾百次還是無法進chart
: 比較舊一點的機型精度不高還比較容易mon過
: 驗不過搞死EE跟PE 然後MFG會每天早上提
: 驗機時程不一定 移機重啟幾個禮拜
: 新機可能一 兩個月都無法release run
: 機台alarm會清空reset 但不會整台關掉
: 會歲修 過陣子就要了 新廠我不清楚時程
: 但不會同時進行 要保留產能
: N12 N16 N20每天堆到炸開 何況N7 N5
: 不隨便回應市場臆測 因為提出的問題實在是不知怎麼回答
身為一個設備商現職工程師...
半導體設備是不太可能上線之後關大電的!!甚至 EMO 按下去你就是得被懲處...
這個概念跟一般用電不太一樣，
就機台寧願開著放在那邊，就算不 RUN 貨 (Wafer) 也不願意關大電
關大電以後再開，很多東西要重新調整，甚至有些精密的元件可能這樣掛掉
舉例來說好了：
客戶有一次不知道衝三小去關大電，然後一顆 power supply 就掛掉了...
這下好了啊，依照目前現在的貨運的狀況，台灣沒有這顆 power supply 可以買，
要從海外買，你知道一顆從下 PO 到客戶手上， lead time 要多久嗎...
答案是要等到十二月...
好這是其一。
接著你順利地開起來了，因為機台中間有關大電，
一般機台裡面會有所謂的 FFU 或者你就想像是一個風扇一直在吹，
目的是為了穩定機台內的氣流，減少 particle 的亂跑
但是因為你關了大電，FFU 當然不會吹，這時候 particle 就亂飛了啊...
這只是其中一個影響，如果是有閥件的，
因為太久沒動，一動起來反而磨出一些 particle...
再舉例一個
客戶有一次年保，年保他給我關大電，也順利開了起來，
結果 particle monitor
(簡單來講就是要測定一片 wafer 進去這個機台進行製程到出這個機台，總共會
有多少 particle 在上面的一個檢測)
你知道測了多久嗎? 測了整整三天... (Dummy run + 測)
你說機台開著 idle 耗電，因為沒貨要省電所以關電，
你先考慮一下上面兩個...這兩個花的時間成本絕對大於三小省電...
再來晶圓的第一步就是曝光，曝光精度如果跑掉 (不管你是位置跑掉/ 線寬不對...etc)
你後面蝕刻、顯影...三小的技術再強都沒幹用，
而且因為晶圓是一層一層鋪上去的，如果你在後段 layer (最後面幾層) 精度跑掉
抱歉，整片 wafer 不能用，或者應該說整盒 (25片) 等報廢。
然後你就要感謝 ASML 的工程師， 24 HR 在那邊 trouble shooting...
好，那麼如果從最一開始關大電到整個開起來完全順利，
還有精度的測定 (這個就超多項目要做，不好意思，一個項目基本半天起跳，
而且重點是還不一定第一次就過)，再來客戶這邊可能還要重新 Qualification
(簡單來講剛剛有說 wafer 有很多層，假設一百層，有可能你要舖的每一層都要重新測過...)
讓 QC 甚至客戶 那邊說：喔喔這樣可以，你才能機台重新上線喔...)
以上是我一個從事這行超過十年的廢物，盡可能的白話解釋了...
關大電省電這根本就是...我不想說但是實際上就真的是：『外行人講的話...』
不過也真的是這些外行人說的話，讓市場製造恐慌...才有便宜價可以撿啊...