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[請問] CMP半導體設備應用

作者: kiyohara (清源)   2014-10-28 12:02:50
請問一下
小弟目前研究CMP設備
想問IC傳統製程使用的CMP和目前3DIC所使用的CMP是同款嗎? 可以用於傳統IC也可用於3DIC?
裡面的零件(如卡環 研磨器 Pad )也需要更換嗎?
謝謝
作者: hvariables (Speculative Male)   2014-10-28 12:41:00
Electronics板
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