台積電南科18A廠驚傳製程出包 部分產線停擺
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2021-07-30 10:00 聯合報 / 記者簡永祥／即時報導
台積電先進製程的南科18a廠，昨（29）日晚間驚傳製程出狀況，部分產線停擺，今日上
午供應商全數被擋在廠區外，供應鏈透露，應是氧氣供應受到汙染，由於牽涉製程相當廣
，台積電自昨晚至早上止，已忙成一團。
台積電今日證實有部分來自廠商供應氧體疑似受到汙染，已即時調度其他氣體供應，此現
象對產線並無造成顯著影響，晶片仍正常生產。
不過從供應商被擋在門外，且消息傳出今日12時台積電18廠將舉行生產會議 ，確實生產
受到影響。
半導體業者表示，半導體製程高達700多道，約有270道需使用氧氣，涵蓋蝕刻、物理及化
學研磨，幾乎都是核心製程，且台積電18a又是目前台積電最缺進5奈米核心製程，目前生
產項目又是蘋果下世代5G手機要用的核心處理器和超微新一代處理器，此刻發生氧氣受到
汙染，恐怕是直中台積電要害，但預料台積電也會全力排除相關問題，儘速讓產線恢復，
只是詳細影響，有待台積電進一步說明。