[請益] Overlay control 書籍 rolems PTT批踢踢實業坊

[請益] Overlay control 書籍

作者: rolems (rolems) 2018-09-02 01:00:26

各位好~
小弟有幸錄取國內公司黃光製程RD
但是該公司學習資源不多，加上大家都很忙碌
所以想說自學比較好
想特別針對Overlay control的領域
包含ASML LIS, W3F3 model 數學模型
Aberration 對 Overlay影響
目前我只找到這本書:
Principles of Lithography, Third Edition
不知道大家有沒有推薦的書籍~
英文書籍佳
謝謝大家~

作者: ss910126 (LEE) 2018-09-02 01:05:00

錄取

作者: Marcus (馬可仕) 2018-09-02 04:57:00

Burn寫的書

作者: fleetwood (加盟Metro!!) 2018-09-02 05:24:00

去amazon 找 Harry Levenson的書先了解基礎再來跟asml application要lens aberration AP KT

作者: giggs11s (小曼) 2018-09-02 13:29:00

はじめての半導体リソグラフィ技術會日文的話，這本很推，岡崎信次寫的書，amazon有賣

作者: autoppp (☆㊣↖☯☁☁☯↘㊣☆) 2018-09-02 17:23:00

推g大說的

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