※ 引述《uranuswind (水瓶之風)》之銘言：
: 你待的imp怎麼跟我待的不一樣？小弟之前在Varian摸imp到去年為止大概有8年經驗，從
: 沒聽過imp爽的。如果只是純pm，而且是順利的情況下，大概才會像你說的，這是理想情
: 況喔，很多時候你光是一個rs測不過，你就知道了......imp在真空設備裡面算是難的，
: 而且危險度算高的，每個做imp的都覺得很賽.......
RS測不過XD 剛好Varian機台我也略懂一點點
不是先看RS機台有沒有漏點有的話去磨針頭或換針頭嗎?
RS機台沒問題的話
先看有沒有豬PE去改到dose trim
水阻值太低去換離子交換樹脂
在不行換A6 A8 A9板
確認wafer cooling有沒有問題
以上這些不用動真空
再來就是要動真空測漏
看到source glitch去換source
RS一直往上跑換profiler slit
v-curve確認x-tilt,y-tilt
差不多這幾招了啦
你摸Varian有8年請你摸著良心說看看這些很難?
作者: leigo (田舔舔舔) 2016-07-12 20:33:00
來炫技的?
作者: deltarobot (翻出來比大隻小隻啊) 2016-07-12 20:45:00
喔
作者:
todd7622 (狀態顯示為腦筋僵化)
2016-07-12 20:46:00有宅有推
作者:
MeiHS (囧)
2016-07-12 21:14:00快解我水桶
作者:
nemies (...)
2016-07-12 22:08:00嗯，趕快說很簡單，不然會被說不懂。
作者:
moonth66 (一天工作14小時 ! 真操 .)
2016-07-12 22:32:00我做完，每次一 Monitor particle 就Ok ,不會再Remon或Run monRS不好一定是真空不佳，至少crying pump 打開至少-6 torr以下不然妳就要On beam開到最大，讓它水氣減少，真空變佳這樣Rs 與 Particle 都會Ok , 重點是真空度真空不佳，你敢交機，累死輪班，讓它幹醮？難怪抱怨文一堆，基礎工作好，事情就簡單最後，還是珍惜吧！不適合就眸作
作者:
nemies (...)
2016-07-12 22:51:00crying pump 很會哭嗎
作者:
moonth66 (一天工作14小時 ! 真操 .)
2016-07-12 23:30:00還會結冰流水ㄝ
RS測不過不是通常都Q亂胎chart胎太緊的問題嗎?
作者: breakofking 2016-07-13 00:20:00
這才是科技業版啊 High/Medium current/AIBT ipulsar通通拿出來研究討論 ^_^
作者:
benden (20%/y的蝸牛)
2016-07-13 01:06:00Tech 版回來了！