[請益] 半導體製程UV curing hiyasa PTT批踢踢實業坊

[請益] 半導體製程UV curing

作者: hiyasa (asashi) 2015-10-31 21:30:22

請教下
小弟沒進去過半導體廠最近在寫些半導體產業狀況
若有寫錯麻煩訂正下謝謝!
最近查到"UV curing"(紫外光固化) 就UV固化設備
google查到
他是用在微影製程
主要功能是利用UV光對光阻進行預處理以加強光阻的強度
這是還沒在曝光前預熱(軟烤)的嗎?? 還是其他製程?
還是我查的資料有錯不是用在半導體製程
謝謝!!!

作者: ChuchingMan (oh ya) 2015-10-31 21:35:00

UV是單獨出來的機台, 通常是在IMPL前的製程

作者: bear0 (雄) 2015-10-31 21:51:00

不是用在黃光，用在 TF 氧化薄膜上，使固化沒錯

作者: lvolingyi 2015-10-31 21:56:00

tf 的ultra low k吧

作者: melzard (如理實見) 2015-10-31 22:03:00

To 1&2F, 確實有用在微影製程.後段metal 顯影後可用用在哪看工廠製程設計上可以有不同選擇我相信1.2樓看過的flow確實有人會這樣安排這種機台的結構設計上相對其他機台簡單一些因為只做UV照射, 所以run貨速度非常快, 需要監測的參數也較少但是相對來說如果發生問題也比較難第一時間發現

作者: lewecool (Korn) 2015-10-31 22:13:00

LK film後的UV Curing

作者: q169 ( ) 2015-10-31 22:15:00

填via的洞啦.....

作者: windbells (Sunday) 2015-10-31 22:23:00

用來detapping？

作者: marslgj (Bonnie Doon) 2015-10-31 23:29:00

PE:X！又殘膠了！

作者: momorabbit ( ) 2015-11-01 00:40:00

很多地方有用@@利用不同波段用在不同的地方~

作者: Rweiwei (史瑞克) 2015-11-01 00:48:00

UV curing 要了解到是把什麼原子Cur 出來，半導體通常用Dep之後

作者: toNpppa (Johnny Cash the truth) 2015-11-01 13:44:00

Pm有夠麻煩

繼續閱讀

[請益] 漢民科技軟體應用工程師（TS 新竹）e761209kimo Re: [心得] 當RD真的常常會跟PM吵起來westron [請益] 京晨科技Gwings Re: [心得] 當RD真的常常會跟PM吵起來EZ5566 [請益] TP-link新竹產品測試面試qabcq [徵才] 亞馬遜kindle北京誠徵BSP工程師AdHocLZM [請益] 美光 wafer sort test engineeraerttyu12357 [請益] 新竹趨勢科技QA職缺lovecs19 [請益] 開發一個APP並包含後期維護需要多少資金frank1033 Re: [情報] 戀人開獎pinkowa