[請益] CMP設備應用 kiyohara PTT批踢踢實業坊

[請益] CMP設備應用

作者: kiyohara (清源) 2014-10-28 21:39:16

不好意思
因PO在它板沒人理我
因在做IC產業研究遇到些疑問
想請教了解CMP設備的大大
傳統IC製程有用到CMP　最近當紅的3D-IC也有用到CMP
這兩種製程的CMP都不同嗎??
還是只是研磨　都可用同款CMP? (連裡面的零件都一樣)
謝謝!!

作者: bagayala (向來癡從此醉) 2013-10-28 21:39:00

都可以

作者: CoolPotato (酷翻鼠) 2014-10-28 21:40:00

研磨用在很多地方唷

作者: HFET (紳士場效電晶體) 2014-10-28 21:50:00

譬如說磨馬鈴薯皮

作者: KEEPLOVING (堅持) 2014-10-28 22:13:00

沒人推薦磨豆漿嗎

作者: dinway (......) 2014-10-28 23:40:00

磨鐵路

作者: lewecool (Korn) 2014-10-29 02:32:00

機台可以共用啊,3DIC的CMP製程要克服的點跟前端不太一樣

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