感謝樓下的各位回覆，目前這組腔體會把牙孔保留（還有其他測試要用）
挖一個洞焊接kf40的接頭型式與幫浦（新幫浦）銜接，
先測試腔體能到達10-3torr在走下一步，更換真空計跟修改牙口的管路。
想請教板上有沒有真空達人......
目前小弟遇到設備的腔體客戶要求達到1pa
換算torr 是 10-3
但我標頭的真空值顯示-80kp就下不去了（目標值1pa=-101kpa嗎？）
搞不太懂哪個環節出問題。
另外腔體我放置12小時負壓-78kpa變-77kpa
理論上洩漏很微量。
https://i.imgur.com/Yjchblv.jpg
附上幫浦資料
https://i.imgur.com/80VxuYd.jpg
https://i.imgur.com/V0CFDt3.jpg
有人有推薦的錶頭跟pump嗎？

站壓站的住嗎

這樣接可以往-101kPa嗎.你規格似乎是高真空了...先確認其它接頭處有無洩漏，焊接體是否也沒洩漏。

先確認真空表量測值線性範圍可以到這數字不然你會被讀數不正確的問題搞死XD

幫浦規格對嗎

如果不是幫浦用錯、真空計有問題 那就是有漏

十二小時少一，差不多是零洩了，你應該是負壓在抽看看，機械本身能抽那麼高嗎經驗上是有的號稱可以抽到這樣高，但是實際上抽不起

洩漏並是不是只看12小時，有可能你的抽與漏，已經剛好平衡，所以真空只能在-70kPa另一個做法，先排除管路，腔體灌入一正壓，接縫處塗泡水，接頭處都塗，看看有否洩漏

拿PUMP去抽別台阿

照圖看，這?大的箱體，如果是微弱的平衡，應該是很快就掉了小箱體我才有遇過這種事，大箱體，我沒遇過就是了當然a大的打正壓下去看泡泡，這我也常這樣做，這都試看看吧

1. 這顆pump是單級還是雙級的？ 如果是單級很難到10-3 torr2. 用這種管子可能很容易滲氣體或漏氣3. 要求的1 Pa應該是 0.0075 torr才對，看你那個真空表大概只能顯示到 kPa 或 torr，並不適合4. 要測漏的話可以在抽真空時輪流在各接縫處噴酒精，有漏的話壓力會升高

我猜讀表不准 要量真空壓的讀表都是torr

1.光描述你就用不同單位 換算就搞死你自己了把表頭直接裝pump上 你就看的到最大能力如果這種大小抽真空 跟單抽pump差很多 就是漏網路上就有單位換算 做任何動作前 先統一單位

對啊，其實我覺得這也怪，其實我做的也不少，但單位到每家，每家買的都不一樣單位這有沒有其它大大能教一下，為什麼嗎?

壓力單位大概有8種 各自為政 但設計的人就是要單一化

這個壓力區間通常會用熱傳導真空記 常見品牌像是GP LeyboldEdwards等等價格會比你這顆貴上不少

先不提有沒有洩漏，你那麼細長的PU管在你要的壓力尺度下會是抽氣的瓶頸

Pump太小，管線配置有問題，顯示器沒那麼精準。

SMC那表頭無法顯示真空的，只能到負壓；腔體那麼大用這麼小的PUMP，而且1Pa應該用金屬管了，PU管搞不好還有OUTGAS改鐵改鐵氟龍管可能好一些，去ULVAC網站看一下吧然後有看到白色物，該不會用水龍頭洩漏帶吧?若是，可能得找真空廠商進補一下基本知識了另外，真空都是用氦氣測漏儀， 還有人打泡泡酒精的，暈!!不過顯示停在80kPa，只能算負壓等級應該還不能用氦氣測漏儀接頭如果鎖牙，通常都會用AB膠密封，AB膠內外牙都要塗

酒精隨處都可拿到，比一大台又貴的氦氣測漏儀 還要拉氦氣管路的測漏方式方便多了用白色鐵氟龍止洩帶沒問題 況且樓主要求只有 10-2 torr管子要換倒是真的，如果不想用金屬KF Bellows，至少換成鐵氟龍 (FEP或PFA)管

沒有氦氣測漏儀時，酒精是很好的測漏方法。表頭,pump,止洩帶都有問題，還有下方的訊號接頭，如果您在台中，可以搬來我廠內，免費幫您氦氣測漏！

嗯，你要看範圍。He 是在比較高端的在用，像有管路洩漏會引起爆炸像我做電子業的防爆防水，其實不用氦氣，負壓跟正壓交相來就好了

氦氣是因為往上飄，酒精會擴散，測漏是在找洩漏點，所以靶子跟飛鏢越準越好。100Pa內才算到了真空，1ATM到100Pa可能3秒，但100Pa到10Pa搞不好永遠到不了，真空跟負壓差很大

液體測漏是便宜方便用 如果能達到測漏儀程度 誰會買?液體測漏最大問題是 真空狀態下 液體會凝結縫不大 也抓不到客戶端求方便才用液體測漏 製造商是測漏儀加持壓水層 腔體 組件後 試車後 可以這樣測4輪才出廠不這樣測 等到客戶進件後 達不到真空度 就有的找原因了

以前做氦氣測漏時，發現有氣漏，也是用正壓+肥皂水去抓哪裡有氣漏，問過測漏儀的設備商也說這方法是可行的。

焊真空法蘭記得要從腔體內焊一圈，不行從外面焊(縫隙被留在真空腔體內)to h大：測漏儀就可以直接抓到漏點了，為什麼還要再正壓?

測漏儀只能幫忙鎖定某個區段會漏氣，不能很明顯的知道哪個點，再加上要拍給客戶看漏氣的狀況，所以才會用正壓+肥皂水的方式。

有測漏儀可以直接抓漏點的嗎？介紹一下吧

用測漏儀抽腔體，噴氦氣去找漏點https://i.imgur.com/5AvdBbC.png

to:michaelgodtw 每一家的都辦的到

用氦氣或H2，表面會不會有痕跡？我們是鐵件但要噴漆

to:michaelgodtw毫無痕跡 抓到漏會用簽字筆畫圈補焊

先排除腔體問題，馬達直接接到真空錶看看能不能達到指定壓力，如果馬達沒問題再進一步去檢查腔體

先找個測漏閥接上去噴氦測，半導體廠sop

看起來是鋁真空腔，用焊接方式組裝？