突破「瓦聖納」封鎖 中買晶片核心機台
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2018-05-22
長江存儲購買ASML EUV微影機 已運抵武漢
〔編譯盧永山／綜合報導〕根據中國「每日經濟新聞網」及日本「日經新聞」報導，中國
兩大半導體業者長江存儲及中芯國際，已先後從荷蘭半導體設備製造商艾司摩爾（ASML）
訂購兩台高階EUV（極紫外線）微影機台，總價值人民幣十二億元（約五十六億台幣），
突破「瓦聖納協議」封鎖。
中國兩大半導體業者長江存儲及中芯國際，已先後從荷蘭半導體設備製造商艾司摩爾（
ASML）訂購兩台高階EUV（極紫外線）微影機台。（法新社）
中國兩大半導體業者長江存儲及中芯國際，已先後從荷蘭半導體設備製造商艾司摩爾（
ASML）訂購兩台高階EUV（極紫外線）微影機台。（法新社）
全球四十國在一九九六年簽署「瓦聖納協議」，禁止向非締約國出口敏感的高科技技術；
EUV是生產大型積體電路的核心設備，對晶片精密度有決定性的影響，而從荷蘭電子巨擘
飛利浦獨立出來的ASML，其高階EUV的全球市占率高達九十％。
中芯訂購 預計明年交貨
報導指出，長江儲存向ASML訂購的EUV機台已運抵武漢，價值七二○○萬美元；中芯國際
也向ASML訂購一台EUV，價值達一．二億美元，預計二○一九年交貨。長江儲存是紫光集
團與中國國家積體電路產業投資基金（俗稱大基金）、湖北科投等於二○一六年合資成立
；中芯國際在兩千年成立，是目前中國最大的半導體業者。
「日經新聞」指出，中國兩大半導體業者向ASML訂購高階EUV，凸顯該國想快速提升國內
半導體製造技術，儘管中國半導體製造技術仍落後全球頂尖大廠至少二到三代製程。
全球三大半導體廠的台積電、英特爾和三星電子，已分別向ASML訂購高階EUV，台積電今
年訂單高達十台，三星電子約六台，英特爾約三台，格羅方德也向ASML訂購一台；ASML上
個月發布財報表示，今年預計將出貨廿台EUV，但未公布訂戶名單。
ASML表示，公司對全球各地包括中國客戶一視同仁，根據「瓦聖納協議」，對中國客戶出
售EUV並無限制。
瓦聖納協議》管制敏感科技 輸往威權國家
「瓦聖納協議」是世界主要的工業設備和武器製造國在1996年簽署，目的在管制常規武器
和軍民兩用等敏感技術輸往中國、北韓及伊拉克等威權國家，目前共有美國、日本、英國
、俄羅斯、荷蘭等40個成員國締約。
「瓦聖納協議」規定成員國自行決定是否發放敏感產品或技術的出口許可證，並在自願基
礎上向其他成員國通報有關訊息，但實際上由美國主導；例如2004年捷克擬向中國出口「
無源雷達設備」時，美國就向捷克施加壓力，迫使捷克停止這項交易。
近來中日媒體報導，中國兩大半導體業者已從荷蘭艾司摩爾（ASML）取得兩台高階EUV微
影機台，突破「瓦聖納協議」封鎖；但先前ASML中國區總裁金泳璇接受訪問時強調，EUV
並非管制項目，要進口到中國完全沒有任何問題。（編譯盧永山）
小辭典》EUV微影機 跨入5奈米關鍵
EUV（Extreme Ultraviolet，極紫外線）微影機又稱為光刻機或曝光機，原理就像是照相
機，將電路圖經過EUV，投射到塗滿光敏膠的矽片（就像是底片），蝕刻掉一部分膠，露
出矽面做化學處理來製造晶片，過程得重複幾十次；EUV的鏡頭是由20多塊大鏡片串聯組
成，鏡片得做到均質，才能達到高純度透光及拋光；艾司摩爾（ASML）的鏡片是由蔡司技
術打底，花了數十年技術累積。
目前半導體製程的主流光源是氬氟雷射，波長為193奈米，但隨著電晶體微縮到20奈米、
甚至10奈米以下，就像用一支粗毛筆寫蠅頭小字，加工越來越困難，而極紫外線的波長僅
13.5奈米，被視為是半導體先進製程可微縮到5奈米以下的重要關鍵設備。（記者高嘉和
）
4.附註、心得、想法︰
26偷搶拐騙 用盡各種手段也要突破封鎖
這種狼性 不覺得可怕?
人家說弱國無外交 夾在兩大之間的小國 居然不懂得戒慎恐懼
這是我在它版看到的新聞 底下推文一面倒
嘲笑26是買來自嗨 沒有人會用 就算要追上台GG 也要很久很久
看完我都不知道 台灣人是不是以為 26是還活在樹上的猴子
真正可怕的不是一匹狼
可怕的是我們真的覺得只是一隻羊 而自己是獅子
沒有人害怕26有天會打趴台GG
真的到了那一天 救得回來嗎
26已經上太空了 妳知道嗎