拆壞光刻機!中國重構工程傳翻車 ASML遭爆「被叫去救火」 背後內幕曝光
2025.10.21 12:12 工商時報 陳彥綺
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中方試圖拆解現有DUV設備研究技術,結果導致機台故障,最後還得緊急向ASML求助維修
。圖/美聯社
在美中科技角力日益升溫之際,荷蘭光刻機巨頭ASML再度捲入風暴。由於美國禁止ASML向
中國出售最先進的EUV(極紫外光)曝光機,中國半導體發展受阻,為了突破封鎖,中方
竟試圖拆解現有設備研究技術,結果導致機台故障,最後還得緊急向ASML求助維修。
美國著名地緣政治分析師Brandon Weichert撰文指出,自2018年起,美國以「科技戰」為
核心,對中國祭出晶片與高科技設備禁令,而北京則以稀土出口管制作為報復。這場你來
我往的攻防戰,不僅重塑了全球供應鏈,也使中國在人工智慧與先進晶片競賽中陷入瓶頸
。
由於無法取得美國及其盟友掌握的高階晶片與製造設備,中國被迫尋求替代方案,嘗試自
行研發甚至仿製相關技術。ASML生產的光刻機被視為全球晶片製造的關鍵設備,但在美國
壓力下,中國目前僅能購得較舊的深紫外(DUV)光刻機,無法取得最先進的EUV機型。
Weichert透露,近期中國工程師為了掌握ASML設備的核心技術,嘗試拆解並逆向研究一台
DUV光刻機,意圖為未來自製版本鋪路。然而,在拆解與重組過程中,該設備遭到損壞,
中方只得向ASML請求派員協助維修。ASML技術人員抵達後發現,問題並非機台自然故障,
而是因中方嘗試「解構」設備導致。目前尚不清楚ASML是否完成維修,而ASML是否會繼續
履行維修合約也存在變數。
Weichert指出,這一事件突顯美國晶片禁令對中國高科技發展造成的實質衝擊,也揭示北
京仍有相當長的技術差距要追趕。光刻機的研究工程並非普通工業仿造可比,其內部精密
程度極高,稍有差錯便可能導致設備報廢。
然而,他同時警告,儘管面臨封鎖,中國仍將持續加大投入,試圖打造自主晶片生態。短
期內北京難以擺脫對西方技術的依賴,但只要美中對立持續、稀土管制與晶片禁令互相制
衡,這場科技對決就不會停止。
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