還好吧
設備仔哪懂什麼flow阿
連機台recipe都不知道在幹嘛
只知道wafer傳輸路徑跟機台機械作動吧
拍了卡通圖能幹嘛
幾千道製程 幾萬種參數
建得了recipe嗎
除非是詳細的flow 有每一道的recipe
但通常recipe名字都會故意加密或是modul自己亂取
也很難知道recipe內容到底是啥
而且又一堆不同設備廠商
每個設備商對每道製程都有小秘密
沒這麼好學啦