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林本堅 發明浸潤式微影技術
2021/04/12 05:30
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台積電前研發副總經理、現任清華大學講座教授林本堅。（記者洪友芳攝）
記者洪友芳／特稿
光學微影是半導體重要的關鍵技術，林本堅被稱為微影技術的先驅者，當前全球半導體高
階製程所用的浸潤式微影技術，就來自他的發明；他也是中研院第一位產業界出身的院士
。
中研院首位產業界出身院士
林本堅曾任職IBM研究中心長達二十二年時間，帶領團隊創造出許多領先全球的技術；從
IBM退休後，他在美國自行創業近十年，二○○○年在台積電前研發副總經理蔣尚義邀請
下加入台積電；二○○二年間，他改以水為介質，研發出浸潤式微影取代乾式微影，讓台
積電成功引領全球半導體業技術走向，得以推進製程至今。
半導體業從四十奈米製程開始採用浸潤式技術量產，設備大廠艾司摩爾（ASML）也跟著轉
向，全球業界跟進；從四十五奈米到目前量產的五奈米製程都是浸潤式技術，該技術已躍
為全球半導體業量產技術主流，更讓台積電技術領先英特爾、三星，居全球半導體領導地
位。
林本堅獲獎無數，除了多次獲IBM頒發傑出發明獎、傑出貢獻獎外，更當選美國國家工程
學院院士、國際電機電子工程師學會（IEEE）西澤潤一獎、Cledo Brunetti獎、工研院院
士、潘文淵文教基金會研究傑出獎、IEEE會士及首位產業界的中研院院士：二○一八年底
，有「中國諾貝爾獎」之稱的未來科學大獎，還頒給他高達一百萬美元的數學與電腦科學
獎項，顯見他在業界的重要地位。
林本堅二○一五年十一月自台積電退休，原規劃輕鬆過日子、專心傳教，沒想到清大找他
去教書；他說現在好像跟當初來台灣一樣，有很多喜歡的事要做，時間不夠分配，除了教
課外，還接任台積電與清大的聯合研發中心主任、負責主持產學大聯盟，加上每週打兩次
網球、每月最後一週負責教會講道等；林本堅笑說：「退休後更忙碌。」