鄉民提問：為什麼high Vt電流比較小？
因為Id = 1/2K(W/L)(Vgs-Vt)^2
這個式子在planner mosfect才成立 怎麼來的 電子學有教 請自己去翻課本
當Vt增加時 Id一定變小 (因為Vgs是輸入訊號 會是定值）
光看式子你可能沒“感覺”
以物理“直覺”來說 就是Vt上升代表電子或電洞比較難被吸上來形成通道
理論上整合應該是最了解製程目的的單位 但不知道為甚麼 很多整合其實都不知道自己在
做甚麼
在半導體製程 很多時候都是電性要求是首要考量 然後才是結構 最後才是解defect
電性不外乎就是Id(sat) , Vdd , f(頻寬）,R(阻值）...
以Id(sat)來說 飽和電流是受到channel 的長寬比 及 Vt 影響（以傳統的mos來說)(finf
et 要去查一下paper 或跑模擬）
所以W/L的比值就很重要 因為如果W/L的range 太大 代表Id就不穩
這就是為何我們要求蝕刻的CDU要卡在一個範圍內
所以在做STI的時候 每一個mos都要切的像豆腐乾一樣
在要求蝕刻前 要先跟蝕刻討論一下哪種hard mask 選擇比比較高 然後疊甚麼film 對黃
光的反射率最低 蝕刻的stop layer是要停在SIN 還是 SIO
然後去除stop layer要找wet的來討論一下 用哪種酸去泡
除了這個 還有Vt , Vt受IMP影響 所以必須去看打不同的能量時 Vt的變化 或 Id夠不夠
陡
所以才會要求IMP 要打多少能量 多少濃度
打完之後找爐管的來討論一下回火的溫度 以及後面製程的thermal budget 是否會造成植
入離子再次擴散
除了主動區要切的像豆乾一樣 之外STI 還有縱深的的考量 因為深度會直接影響是否有電
流的leakage
以及STI裡面填的是SIO 還是 SIN 電性結果也會不一樣
所以要找thin film的人來討論一下 那種film的介電常數比較低
填完之後不是這樣就沒事 填洞一定會有孔隙問題 或是 提前封口
電性考慮完了 還有結構的問題
例如： STI bending , step height 之類 ...
然後這樣只是做完前段STI loop而已....
（還不包括解defect 跟 low yield)
所以如果你不知道自己在幹嘛 最簡單的可以先去搞清楚電性跟製程的關係
很多整合覺得defect跟low yield是媽九的事 其實不太正確 因為defect有時是來自於flo
w不健康
講那麼多 看的懂的就看的懂 看不懂的就乖乖帶貨吧
作者:
realpeez (車比人兇 orz...)
2020-08-21 23:45:00做整合工程師就是複習元件物理的時候
作者: hisped (想太多會不快樂...) 2020-08-21 23:47:00
整合壓力很大吧
作者:
realpeez (車比人兇 orz...)
2020-08-21 23:48:00id 公式的k用un/Cox 表示會更能連結process flow.
作者:
loveFigo (對酒當歌 人生幾何讓人受)
2020-08-21 23:54:00其實現在課本的公式越來越沒用了，但你的基本觀念完全正確。太多know how, 全靠你在業界的經驗了最好就是可以Vt又低漏電又低，Junction阻值又小，Gox又不會有electron trap
作者:
cinlix (傳奇)
2020-08-21 23:57:00希望像你這樣的強者愈來愈多
作者: mis321 (mis321) 2020-08-22 00:06:00
現在就是越來越多不知道在幹嘛的整合 跟只會推事的整合
作者:
j90206 (幫主)
2020-08-22 00:14:00推推
作者:
Unstable (就是愛吃阿~~)
2020-08-22 00:59:00電性、製成目的真的只是基礎，遇過厲害的還懂數位電路設計。
作者:
zzyzx (rd.)
2020-08-22 01:22:00這不是最基本的嗎...
作者:
wdv999 (呆呆)
2020-08-22 02:11:00強者推～遇到的整合都是要FA分析做完後幫忙兜完WAT跟對到inline之後整包交給他們～才會去找馬久～平常都說帶貨很累
作者:
fp737 (Never worry)
2020-08-22 02:49:00還好推文大部分沒讓我失望
這是開發新製程吧 大部分顧量產解low yield就飽了
作者:
Qoo20811 (我沒有暱稱)
2020-08-22 03:41:00跟樓上感覺相同 這應該是TD的工作 要是PIE這些都會應該不會只做TD更正 PIE正常來說PIE看到的recipe都是穩定的了 除非是新產品下線
作者: pinkjenny (pinkjenny) 2020-08-22 04:24:00
最好是量產的型號可以等你分析這些啦...遇到LY沒趕快按iEDA，或者按完沒HL 很快就有人來嘴了
作者:
bhchad (知識搬運工)
2020-08-22 07:16:00同24樓
作者:
Armuu (阿ㄇㄧㄨ)
2020-08-22 07:40:00很多整合都是材料背景的
作者:
ee50 (冷淡 冷漠)
2020-08-22 09:35:00step height啦。是要多high
作者:
mathlover (mathlover)
2020-08-22 09:54:00這篇講的蠻正確的，對電機出身的人蠻基本。但很多PID不是電機出身，你跟他們說channel、early effect、bodyeffect、hot Carrier效應...他們都不懂。
作者:
g870043 (阿草)
2020-08-22 10:00:00push
作者:
XD15041 (BompXD)
2020-08-22 10:20:00非電資完全看無
對電類蠻基本的 電子學有好好唸都會但其他科系就不知道了
作者: uno2000 (siduaco) 2020-08-22 10:27:00
量finfet的WAT ALG跟planar一樣，所以基本上課本的公式還是可以應用，這是實務上的~
作者: HRyan (Ryan) 2020-08-22 10:36:00
推! 以前看過INT數學系,PE建築系. 都有年資但聽他們講就很虛
作者:
HardyJJ (JJHardy)
2020-08-22 10:43:00電機系大學畢業就可以上工了...跨系的看不懂不是正常...電機你問他建築他也不懂啊...
作者:
j821005 (j821005)
2020-08-22 11:04:00很多PIE跟TD也不懂這個
作者: deltarobot (翻出來比大隻小隻啊) 2020-08-22 11:50:00
只要會DOE跟撈common tool就好
作者:
ijk1 (ijkl)
2020-08-22 11:56:00現在PID沒這麼強啦，你去問FEOL, MEOL, BOEL的整合，看他們會不會電性，Lot owner就更有趣了，只會帶貨、解low yield聽過一堆做3, 4年的owner連WAT都不會看...
作者:
Iloinen (阿蒟)
2020-08-22 12:10:00強者推...
以前我在當製程的時候，還有整合跑過來問我一張SEM image是不是有量測問題XD. 還是有年資的喔
作者: gogohc (gogohc) 2020-08-22 12:30:00
技術流
我自己是覺得現在工作真的被切得太細，變成你要幹很多雜事，處理一些根本不重要的東西，久而久之進步就很有限
作者:
mathlover (mathlover)
2020-08-22 12:42:00推樓上...只能靠自己利用時間，像我會故意請假 但是還是來公司看flow不過我不是整合XD
作者:
a2322896 (Robby)
2020-08-22 13:13:00請假來公司看flow....
作者:
bbo214 (Yubo)
2020-08-22 13:34:00cool
如果是GG非電類整合 WAT不熟也不意外 因為大多時間做廢事 我倒覺得二三線fab整合 以一個三年左右的工程師 會的還比較多...
作者:
mathlover (mathlover)
2020-08-22 13:45:00是蠻奴的 但上班光電話都接不完；而且上班看flow會被認為你很閒@@
作者:
iamchyun (是否執行BB2039.exe)
2020-08-22 14:18:00不是電資背景 不是更應該花時間研究基本功嗎？不是電資背景的跑來當整合被電不是正常嗎？
作者: kk123 (￣▽￣) 2020-08-22 19:33:00
蝕刻
作者: BalloonBa (巴倫巴) 2020-08-22 21:50:00
優質
作者:
a24606 (阿NO)
2020-08-22 22:33:00笑死 你家EH是用嘴去吃嗎 食刻ZD
作者:
q169 ( )
2020-08-22 22:49:00不要我變客戶還要去HILI整合查LY呀......
作者: amoskd 2020-08-22 23:34:00
新人上課就是這些啊......
作者:
douge (樹大便是美)
2020-08-23 00:25:00已經很久不用implantation 了 你這是新人訓練的講義吧?
作者:
Qoo20811 (我沒有暱稱)
2020-08-23 03:50:00key layer還是會用imp吧 樓上說的是用PLAD去做嗎?
作者: germanykahn (我是大正妹 >///<) 2020-08-23 06:29:00
推
作者: LittleHorseS (小馬兒) 2020-08-23 08:45:00
優質
作者:
kurll (狂)
2020-08-24 14:07:00一堆整合就只會要媽久提供報告啊