先前在精材上班的時候
AMAT CVD RUN 蘋果單時,另一顆CHAMBER要拉下來PM,
但兩顆CHAMBER都共用同一台CHILLER....結果另一顆CHAMBER 在RUN NEO (蘋果單)時
我把CHILLER給關掉了....造成在RUN蘋果單的CHMABER因為CHAMBER控溫異常ABORT
在RUN蘋果單的CHAMBER 直接死貨兩片!= =
版上傳說壓降時,會丟出一堆報廢也是真的!
剛好當天下午中壢工業區有壓降事故,老闆直接說...就跟壓降一起報掉這兩片報廢!
其它工程部門也很好笑,剛好把一些MO事故藏起來的wafer,也一併列壓降事故報廢處理
※ 引述《mandibular (顎的)》之銘言:
: 小弟目前年資接近一年 總共報廢了兩片
: 第一片是被甩出來破片
: 第二片是pm的時候衣服勾到旁邊機台氣體箱的開關interlock 觸發機台alarm
: 請問各位學長有因為一些什麼原因而報廢的呢QQ
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