事情是這樣的 小弟顧的機台 有幾台是TEL的光阻塗佈機
就我所知就是塗光阻用的
最近發現 黃光區那些ASML或Cannon的曝光機前面都有一台TEL的機台不知道是不是也是光阻塗佈?
我有看到其中一台上面寫著immersion 第一個想到的就是浸潤式微影
所以說曝光機前面那台 到底是幹嘛用的阿阿阿?
如果也是光阻塗佈機 那為何小弟的單位也有一群一樣的機台 不過卻不是直接和曝光機接在一起?
如果曝光機前面那台跟浸潤式微影沒關的話 那淨潤式微影是怎麼實現的呢~~?
(小弟有上網查過惹 不過查不到甚麼資料 只好向各位大學長請教!!
其實問這些跟工作無關 只是很好奇> <
作者:
waylong (威龍~也可闖天關~)
2017-10-26 22:05:00那個叫track
作者:
maikxz (超級痛痛人)
2017-10-26 22:07:00黃光分track跟scanner，到EUV話再分個source(不過本來就有source，只是重要度大增)
作者: a30014 2017-10-26 22:09:00
track>>develop
都是塗佈機...曝光前也是要coating啊～有些只是上barc之類的～就不用接曝光機～
immersion基本上是scanner的事 不過track也有些差異
所以說前面那台track也是塗佈機 只是塗不同溶液?
作者: Raikknen (Kimi) 2017-10-26 22:29:00
十
Routing都是扣曝顯，就只是機台分in-line跟off-line吧（有沒有串起來這樣？）
作者: lponnn (快樂的狼) 2017-10-26 22:51:00
你不是薄膜的嗎?
作者: toyota79226 (DC) 2017-10-26 22:53:00
mark 8嗎~哈
作者: kenny780530 (阿良) 2017-10-26 23:21:00
您可以觀察曝光機前的track是不是只有顯影功能
作者:
maikxz (超級痛痛人)
2017-10-26 23:32:00scanner本來就要有光源source，但附屬設備穩定問題不大但到EUV機台問題大量在source端，才把他拉出來一組team
作者:
tweens (C Y)
2017-10-26 23:55:00你問的問題答案是in-line跟off-line的差異這些問題抓一個附近的黃光製程問一下就知道了
作者: r5011057 (wen) 2017-10-27 00:02:00
請教tweens大 那inline 跟 offline coater 的差異是?
作者:
WoodyYu (無敵阿魚)
2017-10-27 00:37:00前面那台是自動販賣機啦，你按紅色那顆，會有驚喜
作者:
aceradsl (挖系拎老北)
2017-10-27 00:37:00你顧的是offline coater 只做光阻塗布這塊 有接scanner的是inline 曝光後 track再做顯影 這樣throughput比較好不會因為coater module掛掉而整個被拖累 scanner成本很高的
作者:
WoodyYu (無敵阿魚)
2017-10-27 00:38:00我也是黃光的我學長教我 前面那台的功能，就是想休息的時候按下紅色按鈕，就可以準備休息了
作者:
Alderamin (Alderamin)
2017-10-27 01:00:00PM schedule原則上都以scanner為主即可知 紅色最好按一整排泡水機der
作者: treeyoyo 2017-10-27 08:20:00
產能的角度bottleneck 會是曝光機
作者:
film (......)
2017-10-27 08:52:00如果是EUV樓上的答案是對的。如果是immersion答是錯的。
作者: chrno 2017-10-27 09:58:00
inline和offline的差異，這個是基本要知道的部分，至於塗的是PR還是Barc或其他的，以及曝光的光源與機台形式，改快好好的去詢問部門學長學習，至於塗布方式與參數，那就要看製程設計初期在pilot run檢視狀況決定。
作者:
tweens (C Y)
2017-10-27 12:32:00產能瓶頸通常是顯影才對喔，所以才配到3D or 4D另，Nikon 8吋機在二手市場近期很搶手喔，III-V 的應用。如果還想知道什麼，可以來信；但是問學長是最快的方式無誤
依效益的角度來說，曝光機要是瓶頸沒錯吧，曝光機卡貴，所以要把他塞好塞滿@@''
作者:
film (......)
2017-10-27 14:23:00Scanner塞好塞滿track delay 也沒用啊
作者:
maikxz (超級痛痛人)
2017-10-27 14:55:00拖到scanner的時間會被幹比較兇XD
概念跟機台折舊有關吧，不管如何都會有瓶頸（消除瓶頸產能提升這我知道）。scanner 折舊成本假如一小時10塊，track 3塊，那你讓scanner idel 1小時就是浪費10塊，所以讓scanner idel，會被幹爆正常，我是這樣想啦
[email protected]@反正就是不管怎樣都有瓶頸，那選誰當瓶頸卡好的概念
作者:
iFann (好餓餓餓.....)
2017-10-27 21:31:00你菜爆了...想知道就問學長吧
作者: zxc10531 (阿燙) 2017-10-27 23:56:00
基本上有接immersion的都是顯影機，沒接的都是塗佈機，但這只是我自己看到的，有沒有例外我不知道
大哥 黃光的製程稍微了解一下，對顧機台也是有好處的如果是proZ的後面還會接wisd, ACT的大概就不會接
作者:
ngxx (ngx)
2017-10-29 23:36:00光源有Dry and immersion差別在於光源波長的不同 但使用的氣體相同 EUV的波長更短 能量更強 耗能是前兩個的好幾倍機台體積也是好幾倍