北京日報：“中國芯”裝備國產化獲關鍵進展
http://www.bda.gov.cn/cms/mtjj/137999.htm
我國集成電路核心裝備國產化在京獲重大進展。記者日前從北京經濟技術開發區獲悉
，中芯國際北京廠使用國產設備加工的12寸正式產品晶圓加工突破一千萬片次，標志著
集成電路國產設備在市場化大生產中得到充分驗證，國產設備技術和市場競爭力邁上了
一個新臺階。
用發絲千分之一精度“蓋樓”
穿上淡粉色防塵衣帽，戴上口罩手套，雙腳套上鞋套，再進入風淋室經過2分鐘的
清潔空氣吹淋后，記者進入了中芯國際二期生產線的潔凈室。
　　 “這臺分片機，需要機械手臂精準、平穩地將晶片進行分發，并且不能有任何刮
傷和微塵污染。”“這臺中速離子植入機，是硅變成電晶體的一道重要工藝。”“這臺
介質蝕刻機，負責根據設計‘吃掉’硅片上不需要的部分”……在潔凈室技術人員的講
解下，一臺臺國產裝備進入了記者視線。
　　經過多年的研發以及反復驗證、調試，它們如今與代表集成電路最先進制造水平的
國外“同行”們站立在一起，擔負起芯片制造的一項項關鍵工序。
　　在中芯國際工作多年的老人兒都清晰記得，十多年前中芯國際在京投產時，大到生
產線設備，小到螺母、螺絲釘，都是進口的。
　　國產設備進芯片生產線，為何這么難？“好比要在晶片上蓋四十多層高樓，不同的
是每一層樓都需要以頭發絲千分之一的精確度描繪出來。”中芯北方副總經理張昕說。
一顆只有幾毫米寬的芯片上，肉眼看不到的是其背后極大的精確度和復雜度——每個芯
片上有很多層，而每一層上面的晶體管和電路如果排成一根直線，有數百米長。在這里
，一張張硅片經過光刻、掩膜、光照、離子注入、熱處理等數百道工序后，才能變成芯
片。而任何一道工序中但凡出現一點差錯，就會失之毫厘，謬以千里。
　　正是由于工藝制造的高精度和復雜度，芯片生產需要機械、電子、軟件、控制、材
料等多個學科的配合。集成電路生產線上刻蝕機、氧化機、薄膜、光刻、離子注入等設
備，一直都由歐美日少數公司掌握。而如今，從2008年至今短短幾年時間，一些國產材
料和大型裝備正在逐漸進入這條全國最先進的集成電路生產線。
　　聯合攻關縮短國際差距
中國芯中國造，是多年來中國高端制造領域亟待攻克的難題。
　　“一個城市的普通家庭有約100顆芯片。”北京經濟技術開發區管委會主任、國家
科技重大專項02專項實施管理辦公室主任梁勝多年前就曾用這樣一個比喻來形容集成電
路在人們生活中無處不在的重要性。而今，100顆這個數字有增無減。智能手機、空氣凈
化器、移動WiFi、高清電視、智能攝像頭、聲控燈……沒有了芯片，所有這些讓你生活
便利的智能設備全都不可能實現。
　　小到人們的智能生活，大到國家信息安全能力，都與芯片以及制造芯片的核心裝備
們息息相關。“國外一家大型裝備廠商一個季度的產值，就比中芯國際一年產值還要高
得多。”張昕也用一個數字來解釋裝備制造在整個集成電路產業鏈中的重要地位。
　　2008年，國家科技重大專項02專項成立，組織“產學研”聯合開發，由行業的龍頭
企業中芯國際等牽頭，向世界上最先進的40納米和28納米芯片技術節點攻關，并推動裝
備國產化。北京市作為組織牽頭單位，對項目承擔單位予以資金扶持。更為重要的，02
專項讓中芯國際、北方微電子、七星華創（北方微電子、七星華創后重組為“北方華創
”）、中科信公司等產業鏈的上下游企業站在了一起。
　　對于國產設備的“天然實驗室”——中芯國際的生產線來說，過去購買進口設備，
維修和調試都由有豐富經驗的國外設備公司承包。為了使用國產設備，攻關小組得邊干
邊學，不停監測設備在生產過程中的各種問題。同時，為加速裝備國產化進程，作為“
客戶”的中芯國際開始與多家國產設備商聯合研發，在設備設計、研發過程中就充分根
據大生產環節的需求進行，而非閉門造車、單打獨斗。
　　 “在科研上，以往的探索式研究只需要單點突破，一百次嘗試有一次成功就可以
宣告成功了。現在要提供大生產技術，必須一百次都成功。”張昕坦言國產化之路的艱
辛。
　　2010年，國產設備開始進入中芯國際北京生產廠區。從2012年到2016年，使用國產
設備加工的產品數量經歷了0片次、2700片次、14萬片次、110萬片次、1000萬片次的幾
何式增長。
　　開發區集成電路產業的集聚，成為了高端制造裝備國產化的天然推動力。就拿坐落
在中芯國際北京廠街對面的“鄰居”北方華創來說，其成功開發了以刻蝕設備、化學氣
相沉積設備、物理氣相沉積設備三大類半導體裝備產品為基礎的20余類產品，成功替代
了國外廠商同類產品。“設備一有什么問題，設備商的工程師就能過來，雙方的合作溝
通完全零時差。”中芯國際工程師說。
　　北京經濟技術開發區負責人介紹，隨著集成電路國產設備在市場化大生產中得到充
分驗證，我國集成電路制造產業與國外最先進水平的差距縮短了至少五年。
　　國產化可助成本降兩成
突破國際壟斷、提升自主創新能力，帶來的是實打實的效益。張昕透露，雖然目
前設備國產化仍處于初期，需要投入大量人力、財力、物力，但隨著國產設備大量投入
使用，將使得我國芯片制造的設備采購成本降低25%左右。
　　業內專家透露，集成電路技術40多年來一直按照摩爾定律規律發展，即每隔18個月
技術更新一代。每一代技術的更新可使芯片集成度提高1倍，電路性能提高40%。隨著摩
爾定律近年來逐漸逼近極限，裝備國產化對于提升我國集成電路行業競爭力將起到巨大
作用。

玻璃芯

所以中國會自己做EUV設備了嗎？

中國有了光刻機核心技術 http://t.cn/Rqgs9pP

以後手冊是中文的惹科大取代台大修機台 讚讚

高階設備研發才是高科技

雖落后一些，光刻機有幾家在做了 http://t.cn/RIfmpMzhttp://t.cn/RqzfPBG 要在設備、材料等方面追趕西方先進

覺青會說這是假的

本板鄉民看了沒反應，繼續輪班顧機台，做低階工作

台灣人：假的！

這新聞稿是發來要更多經費了吧 有轉的價值?就算弄到28nm 也是5年前的東西了

看到反應應該是搞起來了不起去大陸　搞不起來甘我屁事

GG經續稱霸100年，待著持續爽領啦！

誰跟你我國

有一種東西叫良率～

看完chenglap的文會覺得 要怎麼發展是貴國的本事 不要來掏空台灣的金融業就好

這真的只有中國才能這樣玩，不計成本效益的做

中國現在就是無視良率跟成本追 現在賠錢是一定的 但是等燒錢燒到功練完 就換其他人哭了 大國真的能用錢砸死腳踏實地

良率才是重點 良率低賠即便錢賣 客戶也不見得買單

一個國家所有的東西都是重點產業砸大錢練兵 真的是滿屌的

反觀台灣，現在看不出政府要培養什麼重點產業

不要忽視中國的進步，至少他已經有國產設備製造能力，反觀GG並沒有朝向設備國產化降低成本，並上下游垂直整合綜觀去發展，遲早有一天會被大陸商迎頭趕上

但這樣不計成本,是否有大煉鋼的嫌疑?也不可忽視就是.

爛記者連抄文也不會改辭一下 一開頭你他媽什麼我國

愛中國就去中國啊，有病膩

哪來大煉鋼的說法，應該說要繼續半導體整體的產業研發本來就有設備廠了 t.cn/RIIufVt t.cn/zjDJsFp

gg哪裡沒有幫助搞上下游整合 漢微科才被買下來至於政府出力 面板業要出錢，廠商自己就在亂了

認真問 光刻機是啥

。某幾樓你是搞笑嗎，走人家走過的路，學別人做過的事情，看別人吃自己也想吃，然後把市場搞得過剩，這樣叫做培養重點產業？？，這些東西35年前我們就在做了，懂？這家公司搞多久了？為什麼很多東西還是做不出來？為啥玩沒幾年的g公司，s公司做的出來？大家都一樣有錢花，？

樓上是覺醒青年嗎?GF已經是AMD的晶圓廠,Samsung有DRAM和Flash的基礎,中芯是從無到有,尤其是GF也沒好多少

看了介紹說，龍芯、申威等自主CPU的生產全是國產設備以光刻機為例，甚至光源、物鏡等核心部件都要完全自主http://t.cn/RIM2j65 目前做到55奈米的光刻機t.cn/S6f0ue t.cn/z0F80Lc t.cn/zHsVsL0 這些科研機構就是要追趕。

然後良率低到靠北

良率還不錯。不過現在才55奈米，追趕到14奈米還要時間

到底是不是當別人是笨蛋?你在追別人是停下來等你嗎???

但中國做出90奈米光刻機的時候，外方就開始降價了對中國開放65NM光刻機。大量節省下來的資金，拿來培養自己的人才隊伍，不是更好嗎？再說，并不是什么晶片都需要14奈米生產，看需求

183.206.14 - China - China Mobile communications corpora就覺得某些人講話很有特色

這些設備也可以出口到需要的地方 http://t.cn/RIMClCe

我是射射青年

中芯是從無到有？我怎麼印象這家先前還偷技術

反正共匪要中芯吞爛貨設備，它還不是得乖乖吞，反正到時為了良率也是丟在旁邊，EPS難看還能找國家要補助那也不過只是代理商少賺點而已，投下去的研發成本划不划算就另當別論了，反正是共匪掏錢，丟十億只換得省一億也沒關係

t.cn/RIIz0b0 相似情況福建買德設備可從千萬減到2百萬而且還有了產業鏈的延伸。當然了，要有能力自研才行中國將在2030年實現EUV光刻機國產化 t.cn/RIxVF4l13.5奈米

五毛果然愛自X，拿編織機這種不倫不類的例子，卻還是不敢講韓國台灣倒了多少二手貨過去，降價和共匪自己做的機器一點關係都沒有

2030 gate length 都縮到pico level(.90 .50 nm) 了，還在13.5nm光刻，屆時我看前面幾層早就用不到光罩我看是科科光刻勒從無到？有，科科，哈哈，噗

別人都還沒講話就扯覺青其實也只是看對岸新聞就高潮罷了

土共就快金融危機了還迷信砸大錢..死得更快而已..

玻璃芯