[請益] 關於蝕刻所用機台

作者: kay242433 (我就想住米缸裡)   2015-06-21 22:13:37
各位溫拿大家晚安
不曉這篇文章發在這是否洽當
如有違反版規我會再刪除!! 謝謝!
我上個月剛到新公司報到,主管前兩天丟給了我們一個題目
因為公司是在主要是做機台耗材,所以主管要我們回去做報告有什麼是現階段公司可推銷
的?
第一份是要我們針對etch常用的LAM,TEL去做一份40分鐘的簡報.....(2300KIYO之類)
這真的考倒我了,
一來我剛到一個月還在摸熟公司到底賣些什麼產品(主要是O-RING其他我還真的還不熟..)
二來我還在正在搞懂ETCH裡面細分的小製程,況且這兩廠牌會用到的耗材也不是上網就爬
的?
(我只爬的到機台圖片= =)
希望有使用這兩廠牌的溫拿可以幫幫我,T___T
主要是希望我問你機台內的耗材你再告訴我是否有在使用...T___T
(不需要透漏公司,我只是想搞懂那機台到底有什麼..)
有在新竹我可以請你喝杯飲料感謝你的救命之恩,畢竟我真的覺得好悲劇..
謝謝大家 !!!
作者: blackhippo (PH6.0 微.酸民)   2015-06-21 22:20:00
拎刀A業務仔勒
作者: Mary5566 (Mary5566)   2015-06-21 22:26:00
公司沒基本資料可以看喔?
作者: yjyang63 (望月 憂)   2015-06-21 22:36:00
Etch 就面板薄化啊我做了3年 網路上很多 你為什麼要來這發文
作者: leinru (天階夜色涼如水)   2015-06-21 23:00:00
這種機台很多要真空吧 etch的話o-ring應該用很兇
作者: mainsa (科科)   2015-06-21 23:00:00
菜鳥業務就去問其他老鳥業務阿 主管派給你整合的工作你問其他老鳥可以問的理直氣壯吧
作者: hahaluck (小呆狼)   2015-06-21 23:14:00
我以為學生才會上網求救 做報告
作者: shan751008 (怕尷尬)   2015-06-22 00:11:00
是Kiyo 不是kyo 草雉京嗎...Kiyo o-ring 算不多 去看看oxide的吧
作者: smart1988 (蒼穹)   2015-06-22 01:06:00
老鳥業務手上應該會有規格表吧...直接拿來研究比較實在
作者: c1823akimo (甜蜜幸福的一坨屎)   2015-06-22 06:48:00
我們PM換的耗材...就oring和各式type的roller可是我們的etch機台不是真空的
作者: sw3939889 (SW39889)   2015-06-22 18:00:00
如果是晶圓用的乾蝕刻,除了o-ring跟氣體,我還想不出有何耗材喔 對了,輸送晶圓片到chamber的的圓管型皮帶
作者: WindowsXP (:★↗煞气a作業系統↙☆:)   2015-06-22 20:24:00
RF matcher 也算耗材啊QQChamber內parts送洗也算耗材啊
作者: VSOPTW (special)   2015-06-22 20:48:00
ESC也是耗材?
作者: ctlwmmax   2015-06-22 20:50:00
PARTS所接的地線?
作者: fcucwh (佛劍豪)   2015-06-22 20:56:00
quartz,ceramic, PBI,pin,pad,belt,screw
作者: Collateral (薩克2號機)   2015-06-22 22:37:00
鐵氟龍cap... 唯一想到非o-ring的
作者: cavier (潑墨大寫意 ~)   2015-06-22 22:50:00
LAM Tool 沒皮帶吧? PM 用最多的耗材,O-ring 跟無塵布吧開玩笑的...O-ring 就有分動件跟非動件的,更換率也不同
作者: WindowsXP (:★↗煞气a作業系統↙☆:)   2015-06-22 23:46:00
Lam tool有多少 沒全用過不要講沒皮帶
作者: cavier (潑墨大寫意 ~)   2015-06-23 14:24:00
都說 2300 KIYO 了, 需要全用過 LAM Tool ?
作者: cory298 (風)   2015-06-23 20:08:00
lam有壓. ram harmonic assembly就有壓不過psc比較多吧跟spw吧

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