請問台積電
奈米擴散工程部的主要內容是?
聽朋友說是"惡靈古堡"
真的有這麼悲慘嗎 = =
作者: ChuchingMan (oh ya) 2012-02-07 00:19:00
擴散就一堆爐管, 有沉積管有高溫管, 離子佈植機
作者: ChuchingMan (oh ya) 2012-02-07 00:20:00
設備最多溫度最高的就是擴散區阿...
還有洗pod 洗cassette 吹N2 量厚度 量RS 雜到爆炸
作者: ChuchingMan (oh ya) 2012-02-07 00:28:00
擴散設備很常發生不知道原因的異常, 高溫有到1200以上
作者:
FK6819 (恨情人)
2012-02-07 00:30:00惡靈古堡是指 N20
作者: ChuchingMan (oh ya) 2012-02-07 00:30:00
溫控差個10幾度就紅燈了...因為高溫設備也要常保養一根管子裡頭就有好幾根管要洗...算是滿累的
作者: ChuchingMan (oh ya) 2012-02-07 00:32:00
爐管就分低壓沉積...高溫長薄膜....退火....驅入
作者:
SON118 (SON118)
2012-02-07 00:35:00NO NEED
作者: ChuchingMan (oh ya) 2012-02-07 00:36:00
製程不太需要啦...處理異常...改機台程式...盯run貨
作者: ChuchingMan (oh ya) 2012-02-07 00:37:00
但是擴散製程異常因素真的是比較多...要經驗累積
作者:
CHEN688 (CHEN)
2012-02-07 00:40:00製程比設備爽一點點無誤
作者: ChuchingMan (oh ya) 2012-02-07 00:41:00
版上大家都說設備怎樣...但是強的設備加上經驗滿威的
作者:
melzard (如理實見)
2012-02-07 01:23:00你居然認為不操...
作者: knowlife 2012-02-07 03:02:00
跟黃光和蝕刻比 算爽的
作者:
TANK123 (布魯托)
2012-02-07 09:44:0020製程問題一堆，請你安心上路吧!!!
擴散也覺得操的話 就不用進來了 那蝕刻 黃光怎辦?
作者: iversonthree 2012-02-07 09:48:00
N20一級戰場
作者:
QQ5566 (哭哭5566)
2012-02-07 09:57:00惡靈古堡 士林夜市 還有嗎
作者:
piglauhk (肥胖宅 (￣﹁￣))
2012-02-07 10:50:00BTW LED都出來那麼久了 現在的黃光區還是黃的嗎?
作者:
osbsd1 (封棋-勿找)
2012-02-07 20:54:00.....惡靈古堡 慎入
作者:
osbsd1 (封棋-勿找)
2012-02-07 20:57:00N20現在不論黃光蝕刻擴散CVDEPI 都一樣慘 程度差別而已
想爽就別來...這麼簡單的道理都不懂...書白唸了