只要不打光 只噴Tin
EUV應該不會多耗電
會耗掉通常都是drive laser 要打tin droplet
打出EUV光 才會耗掉大量的電力
台積只要讓機台維持不打光 就算需求減少也
還好 讓機台idle 按時PM 貨來隨時可以曝光
總比關機好
關機再開機….大概要調雷射就要調很久
然後tin droplet噴出的位置 形狀 這些都要調
最重要的是曝光的scanner
HW沒壞就算你撿到 光跑test 機台卡spec就搞
死你 Test還會莫名奇妙跑不過
Upgrade其實一直都有再做 （GWE—>MV)
應該不太可能一次停4台起來做
ASML upgrade team沒人力這樣玩吧…..