1.原文連結：https://reurl.cc/Q37r4o 科技新報 作者 黃 敬哲
2.原文內容：越做越強，台積電 5 奈米良率比 7 奈米更高
台積電近日在線上研討會上透露了有關於先進製程的大量資訊，目前剛量產的 5 奈米製
程良率已經迅速超過 7 奈米，對於蘋果 A14X 晶片以及 AMD Zen 4 處理器都是非常好的
消息。
通常半導體製程良率是隨著時間而下降，並獲得更高的產量，也就是學習曲線的概念。不
過台積電表示，儘管 5 奈米是更先進的製程，但學習曲線表現比 7 奈米更好，使量產非
常順利，而 5 奈米強化版製程 N5P 也即將於明年開始量產，性能將再度提高5%，或功耗
降低 10%。
基本上只要缺陷數低於 0.5 / cm 2 就算是合格的良率，目前已相當成熟的 7 奈米製程
0.09 / cm 2，但才剛量產不久的 5 奈米製程良率就已達到了 0.1 / cm 2，顯示出過往
更好的學習曲線，這可能主是得益於 EUV 技術的應用，減少了工藝步驟，原本需要 4 步
DUV 如今 EUV 能一次完成，降低了生產風險，如此下一季 5 奈米良率就將比 7 奈米更
好。
目前來看 5 奈米將會給台積電帶來更強的競爭力，不僅如此，台積電還提供了最新 N4
工藝的預覽，N4 除了通過減少掩模層來簡化工藝外，還提供了一條直接遷移路徑，可以
全面相容 5 奈米設計生態，預期將於明年底試產，2022 年實現量產。
而台積電下一代的 N3 工藝將成為世界上最先進的邏輯技術，又會再度出現性能的飛躍與
5 奈米相比將實現全節點的技術進步，性能再度提高15%、功耗降低30%、邏輯密度提高
70%。但值得注意的是，3 奈米仍然會是 FinFET，這點倒是令市場相當意外，預計要到
2 奈米才會採用 GAA。
當然面對質疑，台積電也表示，經過與客戶的協商，3 奈米製程預期的成本及性能表現已
受到廣泛的支持。儘管三星宣稱在 3 奈米將使用 GAA，但台積電仍相當胸有成竹。當然
台積電仍在持續探索 3 奈米以下的技術，例如奈米碳管等新材料的應用，不過目前來看
單一晶體管的性能提升已漸趨有限，需要更好的設計才能達到更高的效率。
3.心得：5 奈米良率比 7 奈米更高 這是什麼巫術 其他晶圓廠還要活嗎?
466T的山頂應該很快就會被攻破了...