突破「芯」封鎖 傳中國向荷蘭買兩台「光刻機」
2018-05-22 13:46世界日報 中國新聞組╱北京22日電
儘管最新的中美聯合聲明中未提及各方關注的「中興禁令」事件，令中興前途難料。然而，
有媒體披露，事件讓中國意識到必須突破晶片技術封鎖，並已低調進行。中國兩大公司先後
從荷蘭訂購兩台用於製造晶片的核心機器「光刻機」，其中一台近日已運抵武漢，另一台則
在明年交貨。
每日經濟新聞網綜合各方消息報導，近日「長江存儲」與「中芯國際」先後從荷蘭公司阿斯
麥（ASML）訂購了兩台高端光刻機，總價值12億人民幣。
長江存儲公司是中國高端芯片聯盟發起單位之一，由紫光集團與國家集成電路產業投資基金
、湖北科投等合資成立，被寄望推動中國半導體產業自主研發。而2000年成立的中芯國際（
SMIC）總部位於上海，據稱是中國規模最大、技術最先進的集成電路芯片製造企業之一。
據報導，長江存儲從阿斯麥公司訂購的一台光刻機已抵達武漢，這台光刻機價值7200萬美元
，約合人民幣4.6億元。
巧！ 中興風波後中芯即下訂
報導引述日經亞洲評論指出，中芯國際也向阿斯麥下單了一台價值高達1.2億美元的EUV（極
紫外線）光刻機，預計於2019年初交貨。
報導指出，值得注意的是，中芯國際訂單的時間點恰恰是在今年4月中興通訊遭遇美國制裁
之後。
光刻機是生產大規模集成電路的核心設備，製造和維護需要高度的光學和電子工業基礎，世
界上只有少數廠家掌握。因此光刻機的價格昂貴，通常在3000萬至5億美元不等。
目前，阿斯麥公司掌握了90%以上的高端光刻機市場份額。最新的兩代高端光刻機領域，即
浸入式（Immersion）和極紫外線式（EUV）光刻機，全部由阿斯麥掌握核心技術。
EUV是目前世界上最昂貴也最先進的芯片生產工具。小於5納米(奈米)的芯片晶圓，目前只能
用EUV光刻機生產。三星電子和台積電目前正競爭生產7納米工藝技術芯片，這兩家都訂購了
阿斯麥公司的EUV光刻機。
駁！ 阿斯麥：無「限中」條款
此前曾有說法認為，最高端的光刻機技術受到《瓦森納協定》影響，被禁止向中國出售。該
協定由40個國家簽署，限制締約國向非締約國出售敏感性高科技技術。
不過，阿斯麥公司發言人向日經新聞駁斥這一傳聞，其表示，阿斯麥公司對全球各地包括中
國在內的客戶一視同仁，對中國晶圓廠商的出口不受協定等任何限制。
美國政府月前公布禁止美國公司向中國的中興通訊公司出售包括晶片等零組作後，外界普遍
相信晶片成為中國科技崛起的軟肋。
來源：https://udn.com/news/story/7333/3155801