七奈米強化版 台積電急起直追
台積電為防堵強敵三星在七奈米導入極紫外光（EUV）及後段先進封裝，搶食蘋果新世代
處理器訂單，已加速在七奈米強化版導入極紫外光時程。供應鏈透露，台積電可望年底建
構七奈米強化版試產線，進度追平或超前三星，讓三星無奪蘋機會。
台積電近年來挾高超的晶圓代工技術和龐大產能，和蘋果建立緊密合合作，相繼在廿奈米
、十奈米及七奈米三個世代製程，獨攬蘋果處理器大單。
三星為了分食蘋果大單，包括計畫在七奈米製程率先導入最先進的極紫外光曝光顯影像設
備，取代原有利用浸潤機的多重曝光等繁複的製程，希望在製程進展超越台積電，甚至曾
打算向生產EUV設備的艾司摩爾（ASML），包下幾乎一整年產量的EUV產量。
外界認為，三星買斷EUV機台，可強化七奈米以下製程的競爭力，並可拖延台積電推進EUV
製程進度，並讓格羅方德、英特爾都很難買到設備，不易發展次世代的微縮製程。不過，
三星不僅七奈米導入EUV製程進度落後，要包下艾司摩爾多數EUV機台，也遭艾司摩爾打回
票。
據了解，台積電在竹科建立的七奈米強化版小型試產線，在導入EUV的晶圓輸出率已經大
幅提升，內部正打算在下半年建立試產線，預料年底即可在中科進行風險性試產，明年正
式量產，進度與三星相近，甚至有機會超前。
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