各位板上大大們好，
小弟想在這裡請問一下如果我使用一個標榜leak rate為10^-9 cc/s的閥門將
一個抽至10^-3 torr的chamber(體積1公升，鋁材質)關起來後關掉pump，
那chamber 壓力上升至5*10^-3 torr 的時間為多少?
我在手邊的資料看到一個公式 :
t=c*(V/S)*ln(Pi/Pf)
t:pumpdown time, V:chamber volume, S:system pumping speed
Pi:initial pressure, Pf:final pressure
c: correction factor =
1.0 between Atm and 10 torr
1.5 between 10 torr and 5 torr
2.0 between 5 torr and 50m torr
4.0 between 50m torr and 1m torr
因此若直接代入這式子可以得到 :
t=4*(1000/10^-9)*ln(1/5)~6.44*10^12 s~20萬年...
但這怎麼想都不太可能，
請問有哪裡遺漏的嗎?
在這裡先謝謝回答的大大