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[閒聊] EUV光刻取得突破 清華大學開發新型光阻

作者: DoraGian (飲冰)   2025-07-27 10:21:22
https://udn.com/news/story/7331/8897788
北京清華大學宣布，該校化學系許華平教授團隊在EUV（極紫外光）光刻材料上取得重大突
破，開發出一種基於聚碲氧烷（Polytelluoxane, PTeO）的新型光阻劑，為先進半導體製造
關鍵材料提供新的設計策略。相關研究成果已於16日發表於期刊《科學前緣》（Science Ad
vances）。
光阻劑好像都買日本的
作者: Sougou (搜狗)   2025-07-27 10:47:00
北京清华大学是真的顶
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