[閒聊] FIB技術流程大解析

作者: DoraGian (飲冰)   2024-04-28 13:04:27
https://technews.tw/2024/04/22/ic-circuit-repair-process-analysis/
FIB 線路修補又叫做線路編輯(circuit edit),一般簡稱 FIB, 是一種針對 IC 上的 layo
ut 進行修改而研發的一種儀器。FIB機台有許多功能,包括應用在結構或故障分析上的局部
截面觀察與 TEM樣品製備。建議委案時說明要執行線路修補,如僅提及 FIB,可能會造成誤
解。線路修補使用的機型是屬於單束(single beam),意思是使用離子束(Ion Beam)進行離
子撞擊移除表面物質,作為線路切割的工具,如果要進行線路連接,則必須鍍金屬層,如鎢
,將兩條以上的金屬線連接起來,搭配 W(CO)6 的氣體,在經過 Ga+ 離子束分解後便可達
成鎢的鍍層(圖一)。
以前送過幾次
原來是這樣做
不過當時是送到尉華做
還有聽說FIB廠商說做出來的0%
老闆還硬要送的case==
作者: MeiHS (囧)   2024-04-28 13:06:00
花錢拿報告嗎?

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