新電子科技雜誌
【拼裝出的科學怪人：中國EUV的技術真相與必然的困局】
路透社在2025年12月18日發出的獨家報導震撼了全球科技圈，消息指出中國已在深圳秘密
實驗室成功組裝出首台國產EUV微影機原型。然而，當我們剝開民族情感與宣傳話術的外
衣，仔細檢視這則新聞背後的技術細節，會發現這台機器並非商業突破的曙光，而是一場
註定難以回收成本的豪賭。
底下的真相既荒謬又殘酷：這是一頭由管線、膠帶與舊零件硬湊出來的金屬巨獸。
【零件大雜燴：當Nikon機身遇上國產雷射】
這台機器並非ASML的完美複製品，它更像是一隻工業版的科學怪人。根據多方報告與內部
流出的資訊，華為與其合作夥伴採取了一種極端且粗暴的拼裝戰術。
首先是地基。由於無法取得ASML的底座與移動平台，中國工程師把目光轉向了舊款的
Nikon與Canon DUV機台。這就像是把大馬力引擎硬塞進一台老舊的豐田車殼裡，雖然勉強
能動，但機台的穩定性與減震能力先天不足，高速運轉時的微幅震動足以毀掉奈米級的電
路圖形。
再來是心臟，也就是最關鍵的光源系統。ASML採用的是極高難度的LPP（雷射激發電漿
）技術，用高功率雷射轟擊錫液滴。這技術難度太高，中國團隊選擇了另一條路：LDP（
雷射誘導放電電漿）。這種技術結構相對簡單，能在短時間內產生13.5nm的極紫外光，但
也帶來了致命傷，那就是功率不足且極不穩定。為了讓這顆心臟跳動，他們必須隨時更換
被燒蝕的電極，導致機器根本無法長時間連續運轉。
令人咋舌的是光學路徑的拼湊。核心的反射鏡片買不到，他們就滿世界收購二手舊設
備，甚至透過空殼公司從報廢場挖寶，試圖將不同世代、不同磨損程度的鏡片強行整合。
這不是精密工程，這是工業級的資源回收再利用。
【物理之壁：有錢也填不平的蔡司鴻溝】
這種狗急跳牆式的研發策略，或許能解決有無的問題，但解決不了物理的問題。半導體
製造不是樂高積木，不是湊齊了零件就能跑。
真正的絕望在於光學精度。ASML的獨家供應商德國蔡司，其反射鏡的平整度要求是若鏡
面有德國那麼大，最高的突起不能超過一公分。這種原子級的拋光工藝，是百年的技術累
積，絕非拆幾台機器、畫幾張圖紙就能逆向還原的。
中國這台拼裝機的光路系統，因為採用了混搭的二手鏡片與自製替代品，光線在經過多次
反射後，能量耗損極大且聚焦模糊。這直接導致了一個災難性的後果：曝光圖形邊緣毛糙
。在7奈米甚至5奈米的微觀世界裡，這種模糊就意味著電路短路。即便他們動用了100名
頂尖工程師在實驗室裡日夜調校，物理學依然冷酷地告訴他們：精度不夠，就是不夠。
【良率地獄：註定失敗的商業邏輯】
這台原型機的誕生，政治意義遠大於商業價值。業界分析師根據LDP光源特性與拼裝光路
的物理極限推算，這台機器的良率正面臨災難性的複利效應。
光源不穩導致曝光不均，鏡頭誤差導致對焦模糊，再加上機台震動，這三個變數相乘後
，良率將呈現斷崖式下跌。
目前的評估是，在商業量產標準下，其良率趨近於零；即便是在不計成本的實驗室環境中
，可用晶粒的比例恐怕也僅有個位數。這意味著每生產一片晶圓，絕大部分的面積都是電
子垃圾。
在正常的商業邏輯下，這家公司早就破產了。但中國現在玩的不是商業，而是戰時經濟
。政府準備用無盡的補貼來填補這個良率黑洞。然而，這種模式難以長久。EUV的維護成
本極高，那台拼裝機因為零組件公差不匹配，故障率將是ASML的數倍。光是為了維修這台
隨時會停機的怪獸，就需要一支常駐軍隊般的工程師團隊。
這就像是為了喝一杯牛奶，養了一頭每天要吃一噸黃金的牛。即便中國最後真的用這台
機器硬磨出了幾顆5奈米晶片，其單顆成本也將是台積電的數十倍甚至百倍。在實驗室裡
展示國力是一回事，要在競爭激烈的全球半導體市場中存活，那是完全不同的另一回事。
這場逆向工程的豪賭，最終恐怕只會證明一件事：有些技術壁壘，光靠砸錢與拼命，是真
的跨不過去的。
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