※ 引述 《a1e (我上了賊船了囧)》 之銘言：
: 多個光源束反射搞不定，直接加一個粒子加速器搞一個大出力射束
: 加速器周長100~150公尺，輸出EUV功率>1KW (ASML目前的EUV曝光機輸出功率是200~350w)
: 　
: 這看起來比較可行，缺點就是超大超吃電，不過做出來應該是自用為主
: 不太可能外銷，這問題好像也不是什麼大問題
: 　
這件事我前幾天講過，
在美國2018年前後開始遊說荷蘭不賣大陸
Euv光刻機後，大陸就開始加速EUV研發了，
原本只有一家研究所在研究EUV，之後大陸
就組織了數個研究所/大學/企業研發EUV，
而且是所有理論可行的技術方案同時研發，
為規避專利墻。
目前做出原理樣機的就至少三種，據說工程
樣機也有做出來的。