被寄予重望的上海微電子交付陸首台封裝光刻機
中時新聞網 盧伯華
被視為中國大陸半導體工業重要進程、解決西方國家「卡脖子」問題的半導體設備光刻機
，終於在多年的努力下端出具有指標性意義的成果。據大陸《財聯社》報導，大陸上海微
電子公司於2月7日舉行首台2.5D/3D先進封裝光刻機發運儀式，這是中國大陸首台2.5D/3D
先進封裝光刻機正式交付客戶。
陸媒《品玩》（PingWest）網站報導，上海微電子曾於2021年9月18日舉行的新產品發佈
會上，宣佈推出新一代大視場高解析度先進封裝光刻機。上海微電子表示，當時已與多家
客戶達成新一代先進封裝光刻機銷售協定，首台將於年內交付。
報導說，當時推出的新品光刻機主要應用於高密度異構集成領域，具有高解析度、高套刻
精度和超大曝光視場等特點，可幫助晶圓級先進封裝企業實現多晶片高密度互連封裝技術
的應用，滿足異構集成超大晶片封裝尺寸的應用需求，同時將助力封裝測試廠商提升工藝
水準、開拓新的工藝，在封裝測試領域共同為中國積體電路產業的發展做出更多的貢獻。
不過，這種封裝光刻機是用於晶圓封裝，並不用於晶片製造，但也只有晶圓級的先進封裝
才會用到光刻機。相對於IC製造用光刻機，封裝所用光刻機的研發難度要小很多，市場空
間也更小，但後發的光刻機廠商可以先在封裝領域進行積累。
目前在大陸居於技術領先地位的光刻機研製廠家是上海微電子，可以穩定生產90/65nm製
造工藝的光刻機。光刻機是半導體製造設備價格占比最高的部分約25-30%，其研發難點在
於曝光光源、對準系統和透光鏡頭等技術的整合，以及龐大資金投入。
目前，位於荷蘭的阿斯麥（ASML）公司壟斷著全球最頂尖的光刻機市場，該公司也因此被
美國視為圍堵中國大陸晶片產業發展的「政治棋子」。阿斯麥CEO彼得．溫尼克（Peter
Wennink）曾透露，阿斯麥尚未獲得向中國大陸出口最先進光刻機的許可，但一些生產成
熟制程的光刻機出口並不受限制。
從阿斯麥公司出貨地來看，臺灣仍然是阿斯麥最大的客戶，去年4季度有51%的光刻系統往
台灣發貨；韓國則是該公司第2大市場，同期有27%的光刻系統發往當地；中國大陸是阿斯
麥第3大市場。
https://tinyurl.com/y22uf8zn
90/65nm..
艾司摩爾瑟瑟發抖..