1.媒體來源:
中國時報
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公斤重新定義 衝擊半導體良率
3.完整新聞內文:
2017年05月04日 01:06 王玉樹/台北報導
公斤重新定義 衝擊半導體良率
IC半導體業大震撼!國際通用百年的「公斤」定義明年將改變,但隸屬經濟部的國家度量
衡標準實驗室卻傳出目前仍籌不到經費無法跟進,公斤量測校正標準將降為二級。如此將
衝擊講求精準度的「奈米」晶圓製程校正,我國引以為傲的IC半導體產業良率恐將大幅拉
低。
我量測標準降為二級
經濟部標檢局昨舉辦「國際計量趨勢研討會」,邀請國際度量衡委員會主席Dr. Barry
Inglis等美日德專家,探討計量在產業創新中的運用與貢獻。國際度量衡委員會並與我國
分享明年初將上路的四項國際單位制定義新改變,包括「公斤」(質量)、「克耳文」(
溫度)、安培(電流)、莫耳(物理量)。
標檢局官員指出,這四項中最重要的是「公斤」定義改變。過去準確衡量1公斤,靠的是
質量1公斤的「鉑銥公斤原器」,國內1995年引進放在新竹工研院的國家度量衡研究室。
但這個公斤原器過去100年卻飄移50微克,相當一顆直徑0.4毫米的小沙粒,準確度產生偏
差,因此國際度量衡大會明年將公布,改以物理性的「普朗克常數」去定義。
生產設備校正受影響
國際單位制度改變,台灣當然也得跟進,不過因為提升實驗室相關檢測設備要花6億台幣
,經濟部標檢局面臨「無錢可編」的窘境,將無法在明年跟上國際腳步。不過如此卻暗藏
產業的大衝擊,尤其製程是以「奈米」(10億分之一公尺)計算的IC半導體產業。
在半導體製程中,晶圓表面的清洗、蝕刻與研磨皆要仰賴特定化學溶液,標檢局官員指出
,這些化學溶液量測如果有一點點誤差,都會影響良率。未來一旦我們跟不上國際最新腳
步,國家度量衡實驗室的「鉑銥公斤原器」將被降為二級標準,產業生產機器設備校正會
受影響。因國際標準拉高,相對台灣半導體良率會被拉低。
以先進的台積電與聯電晶圓製程來說,良率均高達9成5,新標準改變將被拉低多少良率?
標檢局官員分析,這將視不同產線與產品而定,但公斤新標準會比舊的精準2到4倍,將有
一定程度影響。該局也只能極力爭取預算,目前仍無著落。
4.完整新聞連結 (或短網址):
http://www.chinatimes.com/newspapers/20170504000311-260110
5.備註:
太棒了
前瞻計畫八千個億丟出去
只需要幾個字
結果整個竹科產業存亡關鍵
台灣之光台GG的生命線
度量衡設備居然連6億都編不出來?????
真的很棒!!!!
戴資穎被體協搞算什麼??
台積電都準備要被整個國家政府搞了!!!